机器视觉精密测量中的显微光学聚焦

• 作者: 周宗磊 孙谦 徐征 王晓东 陈聿夫
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 机器视觉 显微成像 自动聚焦 微装配 微机电系统 综合定量评价
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2095-2100
• 页数: 6页
• 分类号: TP242.6|TH742.9
• 字数: 3579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162409.2095

摘要

考虑显微光学涉及的聚焦精度对机器视觉精密测量效果的影响,开展了显微视觉环境下对图像聚焦技术综合定量评价的研究.建立了偏移率等系列性能指标,对13组清晰度函数在显微视觉条件下的无偏性、单峰性、分辨力等进行了综合评价,优选出方差函数和Brenner函数分别用于粗聚焦和精聚焦阶段的清晰度计算.建立了分步爬山搜索法,实现了显微自动聚焦.与传统爬山法相比,提出的方法聚焦时间显著缩短,重复精度提高约24％.将建立的自动聚焦与图像测量方法应用于某电液伺服阀衔铁气隙测量中,得到的测量均值与工具显微镜结果相近,而测量标准差可达1.9 μm,测量效率也显著提高.最后对伺服阀加电条件下的气隙动力学特性进行了测试,获得了驱动电流-衔铁气隙之间的关系,为在线装配/装调提供了重要依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	115	1141	19.0	28.0
2	徐征	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	52	292	9.0	14.0
3	陈聿夫	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	9	1.0	2.0
4	孙谦	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	9	1.0	2.0
5	周宗磊	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	1	8	1.0	1.0