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摘要:
利用锆钛酸铅镧(PLZT)陶瓷的光致形变效应,提出了一种光控微位移伺服系统,并通过实验对其闭环伺服控制特性进行研究.建立PLZT陶瓷光致微位移闭环伺服系统的多物理场耦合数学模型,通过静态实验对光照与光停阶段PLZT陶瓷光致形变表达式进行了参数识别.搭建了PLZT陶瓷光致微位移闭环伺服控制实验平台,基于ON-OFF控制策略,在不同光照强度下对PLZT陶瓷的光致微位移进行了闭环伺服控制实验.结果表明,通过对紫外光源施加ON-OFF控制,能够实现PLZT陶瓷输出位移的闭环伺服控制.PLZT陶瓷输出位移曲线在伺服控制阶段出现超调量之后,围绕目标值上下波动.光致微位移伺服系统的响应速度、超调量与波高随着光照强度的增强而增加;在400 mW/cm2光照强度下,PLZT陶瓷输出位移到达目标值的时间仅为100 mW/cm2光照强度下的20%.实验结果为PLZT陶瓷在微驱动方面的工程应用奠定了基础.
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文献信息
篇名 锆钛酸铅镧陶瓷光致微位移的闭环伺服控制
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 锆钛酸铅镧(PLZT)陶瓷 闭环伺服控制 光致形变 光驱动 微位移
年,卷(期) 2016,(10) 所属期刊栏目 微纳技术与精密机械
研究方向 页码范围 2505-2514
页数 10页 分类号 TP273
字数 4900字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20162410.2505
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王新杰 南京理工大学机械工程学院 17 39 4.0 5.0
2 陆飞 南京理工大学机械工程学院 2 2 1.0 1.0
3 刘亚风 南京理工大学机械工程学院 2 2 1.0 1.0
4 黄家瀚 南京理工大学机械工程学院 4 21 3.0 4.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
锆钛酸铅镧(PLZT)陶瓷
闭环伺服控制
光致形变
光驱动
微位移
研究起点
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相关学者/机构
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光学精密工程
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1004-924X
22-1198/TH
大16开
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12-166
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