锆钛酸铅镧陶瓷光致微位移的闭环伺服控制

• 作者: 刘亚风 王新杰 陆飞 黄家瀚
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸铅镧(PLZT)陶瓷 闭环伺服控制 光致形变 光驱动 微位移
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2505-2514
• 页数: 10页
• 分类号: TP273
• 字数: 4900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162410.2505

摘要

利用锆钛酸铅镧(PLZT)陶瓷的光致形变效应,提出了一种光控微位移伺服系统,并通过实验对其闭环伺服控制特性进行研究.建立PLZT陶瓷光致微位移闭环伺服系统的多物理场耦合数学模型,通过静态实验对光照与光停阶段PLZT陶瓷光致形变表达式进行了参数识别.搭建了PLZT陶瓷光致微位移闭环伺服控制实验平台,基于ON-OFF控制策略,在不同光照强度下对PLZT陶瓷的光致微位移进行了闭环伺服控制实验.结果表明,通过对紫外光源施加ON-OFF控制,能够实现PLZT陶瓷输出位移的闭环伺服控制.PLZT陶瓷输出位移曲线在伺服控制阶段出现超调量之后,围绕目标值上下波动.光致微位移伺服系统的响应速度、超调量与波高随着光照强度的增强而增加;在400 mW/cm2光照强度下,PLZT陶瓷输出位移到达目标值的时间仅为100 mW/cm2光照强度下的20％.实验结果为PLZT陶瓷在微驱动方面的工程应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新杰	南京理工大学机械工程学院	17	39	4.0	5.0
2	陆飞	南京理工大学机械工程学院	2	2	1.0	1.0
3	刘亚风	南京理工大学机械工程学院	2	2	1.0	1.0
4	黄家瀚	南京理工大学机械工程学院	4	21	3.0	4.0