显微镜自动对焦系统的设计

• 作者: 孟烈钢 张强 王福明 郭彦青
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 显微镜 自动对焦 运动控制 设计
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 自动化技术
• 页码范围: 181-183
• 页数: 3页
• 分类号: TH742
• 字数: 2529字
• 语种: 中文

摘要

针对显微镜手动调焦复杂,较难得到最佳状态下的图像的现状,提出了一种自动对焦系统.该系统既可以实现X轴、y轴的单独运动,也可以实现X轴、y轴的联动控制,调焦电机控制检测平台Z方向的移动以达到对焦的功能.该系统通过步进电机控制器进行精确控制,其X-Y定位精度达到0.002 mm,对焦定位精度为25 nm.通过大量实验,表明该系统能可靠运行,可为类似应用提供一定参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王福明	中北大学机械与动力工程学院	75	581	11.0	20.0
2	郭彦青	中北大学机械与动力工程学院	42	172	6.0	11.0
3	张强	中北大学机械与动力工程学院	26	80	4.0	8.0
4	孟烈钢	中北大学机械与动力工程学院	1	2	1.0	1.0