半导体工艺实验室的建设与管理实践

• 作者: 谢德英 陈弟虎 陈晖 黄展云
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 教育
• 关键词: 工艺实验室 规范化 安全管理 绿色实验室
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 实验室建设与管理
• 页码范围: 205-208
• 页数: 4页
• 分类号: G482
• 字数: 6045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2016.06.060

摘要

以建设一条“硅工艺教学生产线”为目标,中山大学建立了半导体工艺实验室.详细介绍了实验室的建设现状,包括分区设置和仪器配备,结合微电子专业特点,开设了有关课程.从三方面详细阐述了该实验室的建设和管理实践,分别是:建设规范化实验室、建设安全实验室和建设绿色实验室,有利于实验教学工作顺利、有效和安全地进行.最后,提出三个需要解决的问题,包括师资队伍的建设、实验室建设工作计划的完善和开放实验室制度的建立.该实验室的建设,完善了微电子专业的实验教学,有利于提高学生的实践能力和创新能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈弟虎	中山大学电子与信息工程学院	42	160	6.0	11.0
2	陈晖	中山大学电子与信息工程学院	6	5	2.0	2.0
3	黄展云	中山大学电子与信息工程学院	6	13	2.0	3.0
4	谢德英	中山大学电子与信息工程学院	7	15	2.0	3.0