原位溅射型单次试开密码鉴别电路

• 作者: 王宇航 贾乐 韩宾 高杨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 原位溅射 鉴别电路 密码锁 单次试开
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 114101-1-114101-5
• 页数: 1页
• 分类号: TJ430.3|TJ430.2
• 字数: 2710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.160140

摘要

针对目前微机电系统密码锁中的鉴别器结构复杂、智能电子密码锁可靠性不高的问题，设计了一种 N bit 的原位溅射型单次试开密码鉴别电路。N bit 的密码鉴别电路，由2N (N 级、每级2个)个原位溅射型 OFF-ON 开关按照每级“二选一”的逻辑、N 级级联的形式构成；将原位溅射型 OFF-ON 开关(OFF 态到 ON态的单向切换具有不可逆特性)与具有熔断特性的保险丝按照装定密码对应的电路关系进行连接，构成了原位溅射型单次试开固态密码锁，可将此密码锁用于对安全性要求高的要害系统、设施中。为了获得原位溅射型OFF-ON 开关中金属爆炸箔与叉指电极之间的间隙，给出了三种固态密码鉴别电路的微加工工艺方案。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	韩宾	西南科技大学信息工程学院	49	226	10.0	13.0
6	贾乐	西南科技大学信息工程学院	9	12	2.0	2.0
7	王宇航	西南科技大学信息工程学院	5	10	2.0	3.0