基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析

• 作者: 于海利 卢禹先 姜珊 尹禄 张善文 李晓天 齐向东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射 拼接精度 夫琅禾费原理 复制拼接技术
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 218-225
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0508005

摘要

复制拼接是天文领域目前制作大面积平面衍射光栅的重要方法之一.光栅复制拼接需要相应的拼接系统,从成本控制和光栅研制周期角度考虑,一套常规拼接系统应适用于不同参数光栅及不同检测波长的拼接,并且系统拼接精度必须满足光栅拼接要求.根据夫琅禾费远场衍射原理,建立双光栅拼接系统的五维误差理论模型,分析了入射光波长、衍射级次、光栅常数、入射角等参数改变时的拼接误差及其变化趋势,并根据实际拼接需求给出了上述参数的变化范围.计算得到了当光栅参数及检测条件变化时能够满足使用要求的拼接误差精度指标.所得出的拼接误差变化趋势及拼接精度指标对于设计复制光栅拼接系统具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张善文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	169	7.0	12.0
2	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
3	李晓天	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	20	2.0	4.0
4	尹禄	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	32	3.0	5.0
5	姜珊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	132	6.0	11.0
6	于海利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	92	7.0	9.0
7	卢禹先	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	0	0.0	0.0