基于扰动观测器的固化炉温度解耦控制

• 作者: 张兴宇 沈平 王鑫
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 固化炉 最小二乘法 扰动观测器 解耦控制
• 年，卷（期）: 2016,（22）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 260-265
• 页数: 6页
• 分类号: TP273.5
• 字数: 4283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.1412-0249

摘要

固化炉是微电子制造过程的重要设备，它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题，将最小二乘法及阶跃响应法相结合，在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型，基于扰动观测器（disturbance observer）对芯片固化炉设计了解耦控制系统，实现了不同加热板之间的解耦控制。仿真和实验结果表明，该解耦控制方法能够抑制加热板之间的耦合影响，超调和稳态误差都较小，在过程控制中的同类系统中有较好的推广应用价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鑫	中南大学机电工程学院	26	168	6.0	12.0
2	张兴宇	中南大学机电工程学院	2	2	1.0	1.0
3	沈平	中南大学机电工程学院	9	57	5.0	7.0