激光诱导精密沉积铜箔实验

• 作者: 印四华 李洪辉 郭钟宁 黄志刚
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 激光诱导向前转移 脉冲能量 精密沉积 微细阵列
• 年，卷（期）: 2016,（22）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2990-2993,2994
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2016.22.002

摘要

通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置,进行了激光诱导向前转移铜箔的实验,并通过超景深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察,探讨了激光脉冲能量和激光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响,在此基础上研究了激光诱导向前转移的机理。研究结果表明,在石英玻璃基片上沉积的铜箔直径最小可达10μm,远小于激光光斑直径；在约束层上也沉积有铜箔,即同时出现了激光诱导向后转移的现象；光脉冲能量增大,石英玻璃上沉积的铜箔逐渐分散,尺寸逐渐增大,而且呈环形分布；通过调节靶材离焦点距离,可以使环形消失,并使沉积尺寸降到激光光斑尺寸以下。最后成功实现了微细阵列的激光诱导沉积。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁	广东工业大学特种能场加工实验室	197	1090	16.0	23.0
2	黄志刚	广东工业大学特种能场加工实验室	35	182	7.0	12.0
3	印四华	广东工业大学特种能场加工实验室	13	24	3.0	4.0
4	李洪辉	广东工业大学特种能场加工实验室	3	8	2.0	2.0