气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展

• 作者: 李川 李昊罡 赵红军 颜亮
• 来源期刊: 微型机与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外光源 气体放电等离子体 毛细管放电 激光辅助放电 等离子体聚焦 中空阴极触发等离子体箍缩
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN23
• 字数: 3628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19358/j.issn.1674-7720.2016.09.003

摘要

极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用.极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展.气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景.现有气体放电等离子体光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源、激光辅助等离子体极紫外光源、等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源等.近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,该文对气体放电等离子体技术做了综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李川	绵阳职业技术学院信息工程系	21	23	3.0	4.0
2	赵红军	绵阳职业技术学院信息工程系	13	26	3.0	4.0
3	颜亮	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	5	83	4.0	5.0
7	李昊罡	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	2	2	1.0	1.0