250全自动划片机关键技术分析与维护维修

• 作者: 尹超 李双江
• 来源期刊: 机电信息
• 关键词: 全自动划片机 空气静压电主轴 维护 维修
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺与技术
• 页码范围: 112-113
• 页数: 2页
• 字数: 1920字
• 语种: 中文

摘要

划片是电子器件封装工艺中重要的工艺之一,是将一整片晶圆切割成独立的个体,芯片切割的质量直接影响着封装质量和器件性能.现结合多年的划片设备管理与维修经验,对日本东京精密250全自动划片机设备的工作原理、结构、维护和维修作简单介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李双江		4	30	3.0	4.0
2	尹超		2	5	1.0	2.0