Maxμm Ultra全自动金丝键合机关键技术分析与维修维护

• 作者: 李双江 贺从勇 陶怀亮
• 来源期刊: 机电信息
• 关键词: 全自动金丝键合机 音圈电机 维护 维修
• 年，卷（期）: 2022,（13）
• 所属期刊栏目: 设备管理与改造
• 页码范围: 66-69
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.96
• 语种: 中文
• DOI: 10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2022.13.019

摘要

金丝键合机是一种高精密的半导体封装设备，现结合多年的金丝键合设备管理与维修经验，对美国K&S公司的Maxμm Ultra全自动金丝键合机工作原理、结构、维护和维修进行简单介绍。