集成偏振近红外焦平面探测器研制与信噪比分析

• 作者: 兰逸君 卢杰 周勋 唐艳 季万涛 王玺 胡小燕 陈扬 高新江
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 偏振 近红外 焦平面 金属纳米线
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 250-255
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.16136/j.joel.2017.03.0182

摘要

面向近红外波段隐蔽目标识别应用,基于InGaAs近红外焦平面阵列,利用焦平面像元分组方法,研制了一种单片集成微偏振元阵列的InGaAs焦平面探测器.本文器件利用电子束直写与金属刻蚀工艺制备的金属纳米线阵列实现偏振态选择,实验测试平均消光比为8.05.研究结果表明,光串扰在很大程度上降低了消光比,对偏振图像的暗部细节的解析度也产生了不利影响;金属纳米线本身的不完整性不但造成了信噪比(SNR)下降,也制约了光响应动态范围.