四步相移法的非线性相位误差补偿方法

• 作者: 刘建生 张华煜 武迎春 赵贤凌
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 误差补偿 四步相移法 gamma非线性 三次谐波 谐波系数
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 373-379
• 页数: 7页
• 分类号: TN253
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2017.03.021

摘要

在相位测量轮廓术中, 测量系统的gamma非线性是相位误差的主要来源.系统gamma非线性使变形光栅条纹图像中出现高次谐波, 从而引起展开相位存在周期性误差.对于四步相移法, 三次谐波是引起周期性误差的主要因素.通过建立四步相移法的相位误差和主相位的关系模型, 在系统gamma值未知的情况下, 对非线性相位误差进行了补偿.计算机仿真表明, 当系统的gamma值为2.2时, 使用本方法补偿前后的相位误差波动幅值分别小于0.006 3 rad和0.000 354 rad;实验证明, 一个平面白板展开相位的均方根(RMS)在误差补偿后从0.035 rad降低到0.007 rad, 相位误差的最大值从0.086 7 rad减小到0.030 8 rad.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建生	太原科技大学材料科学与工程学院	108	397	10.0	15.0
2	赵贤凌	太原科技大学材料科学与工程学院	12	12	2.0	3.0
6	武迎春	太原科技大学电子信息工程学院	15	23	3.0	4.0
7	张华煜	太原科技大学材料科学与工程学院	7	24	2.0	4.0