微纳坐标测量机间接校准方法的探究

• 作者: 宋小平 施玉书 李伟 李琪 李适 皮磊 郭鑫 陈思文 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微纳坐标测量机 间接校准 尺寸测量示值误差 探测误差
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.01.10

摘要

针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案.使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差.并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2 μm,探测误差仅为0.125μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性.