双波段截止分色滤光片研究

• 作者: 曹晶辉 朱华新 胡立发 胡莹 苏宙平
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 滤光片
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 1675-1680
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173812.1675

摘要

为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5~0.68μm、0.73~0.79μm,通带波长0.83~0.87μm),采用F-P型的带通滤光片膜系结构为初始结构,与常规设计理念相比有效减少了膜层的数量,薄膜的高折材料采用TiO2,低折材料采用SiO2,以实现双波段截止的目的.膜层的设计层数为23层,总厚度为2.278μm,借助电子束蒸发物理气相沉积法实现了镀制,利用分光光度计对镀制样品的透过率进行评估.测试结果显示,截止区(0.5~0.68μm和0.73~0.79μm)平均截止深度分别达到了12.57%和20.39%,通带0.83~0.87μm波段内的平均透过率达到了91.35%,样品测试曲线与设计相比,"蓝移"将近10 nm.薄膜样品基本实现了设计目标,具有双波段截止、高通带透过率的特性.在环境测试中:薄膜表现出显著的稳定性,膜层间匹配度适宜.该双波段截止分色滤光片能够应用在一些极端的情况下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏宙平	江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心	23	120	4.0	10.0
2	朱华新	江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心	30	52	5.0	5.0
3	胡莹	江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心	8	17	2.0	4.0
4	胡立发	江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心	5	0	0.0	0.0
5	曹晶辉	江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心	2	3	1.0	1.0