同轴倾斜转镜式傅里叶变换红外光谱仪的系统误差容限研究

• 作者: 徐可欣 李奇峰 王慧捷 陈文亮 陈达
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 傅里叶变换红外光谱仪 转镜式 误差容限
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.12
• 字数: 3089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20150135

摘要

针对具有同轴倾斜转镜式结构的新型傅里叶变换红外光谱仪进行了研究,该结构主要通过绕轴转动的倾斜反射镜组合和固定反射镜转折光路,产生连续变化的光程差,形成连续变化的干涉光强度.为了尽可能获取可靠的干涉光强度数据,获得准确的光谱信息,需要对系统的潜在误差进行研究,分析误差的来源和影响,确定系统的误差容限.通过模拟分析的手段,对倾斜反射镜组合和固定反射镜的误差进行了研究,确定了主要的误差来源、误差影响和误差允许范围,对系统误差容限形成了全面的认识.在此基础上,可以为同轴倾斜转镜式傅里叶变换红外光谱仪的制造和装配提供具体的数据参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可欣	天津大学精密仪器与光电子工程学院	194	2590	26.0	39.0
2	陈文亮	天津大学精密仪器与光电子工程学院	43	408	11.0	19.0
3	李奇峰	天津大学精密仪器与光电子工程学院	17	53	4.0	5.0
4	陈达	天津大学精密仪器与光电子工程学院	17	52	4.0	5.0
5	王慧捷	天津大学精密仪器与光电子工程学院	1	3	1.0	1.0