光波导器件应用及其表面光滑化研究综述

• 作者: 冀健龙 唐海泉 张强 张辉 桑胜波 段倩倩 菅傲群
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 光滑化 氢退火 表面粗糙度 光波导器件
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 国家青年/地区科学基金项目专栏
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2969字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbkd.2017yx01005

摘要

光波导器件在许多领域都有着广泛的应用和良好的发展前景.而波导器件表面粗糙度影响传输光损耗和环形腔Q值,制约光波导器件的发展和应用.目前常用波导器件表面和侧壁光滑化方法有热氧化法、激光束法和氢退火法,其中氢退火法有较好的光滑化效果,但对于氢退火工艺的机理并不清楚,无法进一步优化实验参数,达到最佳实验效果.在对上述内容进行综述的基础上,通过Materials Studio仿真分析,初步研究了退火机理,基于仿真研究结果,分析氢气环境对退火过程的意义,为应用氢退火工艺对波导器件光滑化实验提供理论指导.