无透镜数字全息显微成像技术与应用

• 作者: 吴育民 文永富 李根 盛海见 程灏波
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 关键词: 无透镜数字全息 显微成像 光学表面检测 MEMS
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 99-105
• 页数: 7页
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2017.02.099

摘要

针对微结构和微光学元件等微小物体的表面定量检测,本文介绍了一种利用无透镜数字全息的快速、无损的显微成像方法.首先介绍了基于球面波的无透镜数字全息显微成像技术的基本原理,采用CCD作为光电转换器件,基于迈克尔逊干涉光路,设计了无透镜数字全息显微成像系统,利用反射镜构成折反式光路,系统结构简单、紧凑,提升了系统便携性.然后利用USAF1951分辨率板对构建的成像系统进行了标定实验,得出其横向分辨率为6.69 μm,放大倍率为3.375,系统工作距离为12.0 mm.此外,还对晶圆表面结构进行实际测量.实验验证了该系统的可行性和有效性,有望进一步应用于MEMS、微光学元件、光学元件等表面形貌的定量测量中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文永富	北京理工大学光电学院光机电联合研究中心	10	16	3.0	4.0
5	盛海见	北京理工大学光电学院光机电联合研究中心	1	7	1.0	1.0
9	吴育民	北京理工大学光电学院光机电联合研究中心	4	41	3.0	4.0
13	李根	北京理工大学光电学院光机电联合研究中心	2	8	1.0	2.0