电感耦合等离子体离子源气体温度特性数值模拟分析

• 作者: 岳东宁 徐江 李志明 汪伟 粟永阳 袁祥龙 赵军 马燕云
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电感耦合 采样锥 气体温度 数值模拟
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 521-525
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 2521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/zpxb.2016.0061

摘要

采用以流场为主耦合电磁场的计算流体力学方法分析ICP离子源的温度特性,并比较加载采样锥前后其温度特性的变化.由于采样锥和炬管构成了相对封闭的空间,加载采样锥后大部分区域温度偏高.在采样锥附近等离子体通道效应明显,中心通道温度从25 mm附近开始急剧上升到8 000 K左右,在采样锥口前1 mm左右急剧下降到6 000 K左右.用Discrete Phase Model (DPM)模型分析了不同直径气溶胶颗粒对中心通道气体温度的影响,发现颗粒直径太大会影响中心通道气体温度的稳定性,而直径几微米的气溶胶颗粒电离效率较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马燕云	国防科学技术大学理学院	17	27	3.0	4.0
2	徐江		27	50	3.0	5.0
3	李志明		37	75	4.0	5.0
4	赵军	国防科学技术大学理学院	16	36	4.0	5.0
6	汪伟		12	15	2.0	3.0
7	粟永阳		9	27	3.0	4.0
8	袁祥龙		4	5	1.0	1.0
11	岳东宁	国防科学技术大学理学院	1	2	1.0	1.0