光学自由曲面面形检测技术

• 作者: 俞本立 刘东 师途 张磊 李劲松 杨甬英
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 自由曲面检测 干涉检测法 子孔径拼接 非旋转对称像差补偿
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 283-299
• 页数: 17页
• 分类号: TQ171.65|TN247|TH741
• 字数: 7771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20171003.0283

摘要

光学自由曲面因其表面自由度较大,可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差,同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求,逐渐成为现代光学工程领域的热点.自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素,而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法.本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程,对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法,结构光三维检测法,相干层析术,干涉检测法)进行了重点介绍;总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点,同时结合这些技术难点,展望了自由曲面检测的未来发展新趋势,主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘东	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	45	454	12.0	20.0
2	张磊	安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室	55	208	8.0	11.0
3	俞本立	安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室	39	466	10.0	20.0
4	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0
5	李劲松	安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室	15	53	4.0	7.0
6	师途	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	4	85	2.0	4.0