氮化碳超硬防划伤镀膜玻璃的制备与研究

• 作者: 姜宏 张忠义 张振华 徐日宏 王琦
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化碳薄膜 磁控溅射 超硬膜层 防刮伤 透过率 耐酸耐碱性
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 新技术新工艺
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2017.11.005

摘要

采用工业磁控溅射设备在玻璃基板上依次沉积Al2O3/SiO2/CNx多层复合纳米薄膜,并研究测试了其透过率、耐划性及耐酸碱性.结果表明,通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,膜层莫氏硬度达到8级,具有优良的防刮效果;膜层存在△T＞0.6％的微弱增透效果;经过酸/碱处理,透过率衰减|△T| ＜0.1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张忠义		4	1	1.0	1.0
2	徐日宏		4	1	1.0	1.0