钼掺杂氧化锌薄膜的制备及其性能研究

• 作者: 康淮 陆轴 顾锦华
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂氧化锌 薄膜 结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 66-72
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 4400字
• 语种: 中文

摘要

采用掺氧化钼(MoO3)的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射源材料,利用磁控溅射工艺制备了钼掺杂氧化锌(MZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜,通过X-射线衍射仪(XRD)、光分光光度计和四探针仪进行了测试表征,研究了溅射功率对MZO薄膜结构、光学和电学性能的影响.结果表明:所沉积的MZO薄膜样品均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向生长特性,溅射功率对薄膜结构和光电性能具有不同程度的影响.当溅射功率为120 W时,MZO薄膜的可见光区平均透过率最高、电阻率最低、性能指数最大,具有最好的光电综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾锦华	中南民族大学实验教学与实验室管理中心	33	183	9.0	12.0
2	陆轴	中南民族大学电子信息工程学院	19	78	6.0	8.0
3	康淮	中南民族大学电子信息工程学院	11	61	6.0	7.0