四象限传感器用于激光跟踪仪光斑偏移量测量

• 作者: 宋辉旭 石照耀 谭志 陈洪芳
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光跟踪仪 四象限传感器 光斑偏移量 泰勒级数展开 测量系统
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 258-262
• 页数: 5页
• 分类号: TH702
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11990/jheu.201510024

摘要

为了保证激光跟踪仪的跟踪速度和跟踪精度,要求发现目标靶镜运动和反映靶镜位移的四象限传感器信号的处理过程具有快速、准确的动态响应.推导出四象限传感器在对角线算法中的输出信号与光斑偏移量之间的关系为超越函数关系.针对超越函数关系不易快速解算的难题,结合激光光斑的特性,采用了泰勒级数展开算法.使用高精度直角坐标测量机对光斑偏移量测量系统进行了验证实验.实验结果表明:该测量系统实时性好,每秒测量次数达到1050次;测量精度高,在±400μm测量范围内测量精度可达6μm.该系统可以广泛应用于需要微小位移测量的相关领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石照耀	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	144	1767	19.0	39.0
2	陈洪芳	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	30	144	8.0	11.0
3	宋辉旭	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	6	28	2.0	5.0
4	谭志	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	1	8	1.0	1.0