基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法

• 作者: 丛培田 关涛 刘柱
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光诱导电化学反应 金属微电极 原子力显微镜 电极沉积
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 650-654
• 页数: 5页
• 分类号: TP24
• 字数: 2622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.05.003

摘要

纳米材料具有独特的物理化学性质,在纳米电子器件和生物传感等方面显示了巨大的应用潜力.基于二维纳米材料的器件,需要利用金属电极来构建传感器或者场效应晶体管结构.目前,已有一些方法来制备金属电极,如光刻、聚焦离子束及纳米压印等方法,但是这些方法通常需要昂贵的设备,并且操作非常复杂.提出采用基于光诱导的金属纳米电极沉积方法,通过对多个实验参数(包括输入交流电信号的频率、幅值、溶液浓度以及氢化非晶硅层厚度)的分析,得到了优化的金属电极沉积条件.在此基础上,利用光学显微镜、原子力显微镜和扫描电子显微镜对制备的金属电极进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丛培田	沈阳理工大学机械工程学院	62	234	8.0	12.0
2	关涛	沈阳理工大学机械工程学院	25	10	2.0	2.0
4	刘柱	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	8	33	3.0	5.0