钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
无线电电子学与电信技术期刊
\
激光与红外期刊
\
光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析
光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析
作者:
冷雁冰
李美萱
王丽
王美娇
董连和
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
浸没式光刻
高均匀性照明
分辨率
光学设计
公差分析
摘要:
在超大规模集成电路中,为了实现NA=1.35,波长193 nm处分辨率达到45 nm的目标,需要对影响光刻照明均匀性的误差源进行详细分析最终确定公差范围.复眼透镜是使光束在系统掩膜面上形成矩形均匀照明区域的关键元件.采用CODE V软件设计了复眼透镜对引起照明不均匀性的因素进行分析,结合复眼透镜组的设计方案和实际加工能力,给出X和Y向复眼曲率公差为±10%,后组曲率公差为±5%,前后组间隔公差为±50 μm,位置精度偏心公差为±1 μm,装配精度公差为±3 μm.制定公差合理、可行,满足了浸没式光刻照明系统高均匀性、高能量利用率的要求.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
激光显示照明光路中复眼透镜的设计
激光显示
光学扩展量
复眼透镜
光学引擎
数值孔径
光线追迹
复眼透镜陈列在LED透镜设计中的应用研究
复眼透镜阵列
LED照明
透镜设计
基于365nm LED的数字光刻照明系统匀光设计
均匀照明
复眼透镜阵列
光学设计
365nm发光二极管
数字光刻
大视场并列型仿生复眼光学系统
光学系统设计
微透镜阵列
仿生复眼系统
多孔径系统
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析
来源期刊
激光与红外
学科
物理学
关键词
浸没式光刻
高均匀性照明
分辨率
光学设计
公差分析
年,卷(期)
2017,(7)
所属期刊栏目
光电技术与系统
研究方向
页码范围
842-847
页数
6页
分类号
O439
字数
2273字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1001-5078.2017.07.011
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王美娇
长春理工大学光电信息学院
24
38
3.0
5.0
2
董连和
45
151
7.0
11.0
3
冷雁冰
34
117
6.0
10.0
4
王丽
32
34
3.0
4.0
5
李美萱
22
61
4.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(87)
共引文献
(62)
参考文献
(11)
节点文献
引证文献
(2)
同被引文献
(13)
二级引证文献
(0)
1976(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1977(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1978(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1980(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
1982(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1986(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1987(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1988(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1990(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1993(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1994(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1995(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
1996(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1997(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1998(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1999(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2000(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2001(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2002(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2003(3)
参考文献(0)
二级参考文献(3)
2004(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2005(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
2006(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
2007(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2008(8)
参考文献(1)
二级参考文献(7)
2009(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2010(7)
参考文献(1)
二级参考文献(6)
2011(8)
参考文献(1)
二级参考文献(7)
2012(6)
参考文献(1)
二级参考文献(5)
2013(7)
参考文献(3)
二级参考文献(4)
2015(3)
参考文献(3)
二级参考文献(0)
2016(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2017(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2019(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
浸没式光刻
高均匀性照明
分辨率
光学设计
公差分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光与红外
主办单位:
华北光电技术研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-5078
CN:
11-2436/TN
开本:
大16开
出版地:
北京8511信箱《激光与红外》杂志社
邮发代号:
2-312
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
5805
总下载数(次)
16
总被引数(次)
44711
期刊文献
相关文献
1.
激光显示照明光路中复眼透镜的设计
2.
复眼透镜陈列在LED透镜设计中的应用研究
3.
基于365nm LED的数字光刻照明系统匀光设计
4.
大视场并列型仿生复眼光学系统
5.
曲面仿生复眼透镜微复型过程变形分析
6.
深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计
7.
大视场曲面复眼光学系统设计
8.
PCB激光投影光刻照明系统的设计
9.
仿生复眼成像系统设计与制作的研究进展
10.
仿生复眼接收系统设计与实验
11.
液晶背投影电视中蝇眼透镜阵列照明系统的设计
12.
一种改善光斑均匀性的舞台照明系统
13.
曲面复眼成像系统的研究
14.
LD快轴准直柱透镜多参数加工公差分析理论
15.
公差分析技术在雷达天线设计中的应用
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
激光与红外2022
激光与红外2021
激光与红外2020
激光与红外2019
激光与红外2018
激光与红外2017
激光与红外2016
激光与红外2015
激光与红外2014
激光与红外2013
激光与红外2012
激光与红外2011
激光与红外2010
激光与红外2009
激光与红外2008
激光与红外2007
激光与红外2006
激光与红外2005
激光与红外2004
激光与红外2003
激光与红外2002
激光与红外2001
激光与红外2000
激光与红外1999
激光与红外2017年第9期
激光与红外2017年第8期
激光与红外2017年第7期
激光与红外2017年第6期
激光与红外2017年第5期
激光与红外2017年第4期
激光与红外2017年第3期
激光与红外2017年第2期
激光与红外2017年第12期
激光与红外2017年第11期
激光与红外2017年第10期
激光与红外2017年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号