PCB激光投影光刻照明系统的设计

• 作者: 宋超 李文静 林清华 王鲁宾
• 来源期刊: 广东工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 印制电路板 激光投影光刻 照明系统
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7162.2007.02.009

摘要

针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林清华	广东工业大学物理与光电工程学院	32	288	9.0	16.0
2	李文静	广东工业大学物理与光电工程学院	5	35	4.0	5.0
3	宋超	广东工业大学物理与光电工程学院	4	15	2.0	3.0
4	王鲁宾	广东工业大学物理与光电工程学院	4	15	2.0	3.0