双氧水对溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的影响

• 作者: 冯果 刘健敏 吴倩 张权 李聪 江伟辉 苗立锋
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅酸锆 溶胶-凝胶法 双氧水 抗腐蚀性
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 224-230
• 页数: 7页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 3616字
• 语种: 中文

摘要

以氧氯化锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源,采用溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜.借助SEM、DTA-TG、FT-IR、XRD等分析测试手段研究了添加双氧水(H2O2)对制备硅酸锆薄膜的影响,并研究了薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:适量的双氧水可以有效地促进氧氯化锆的水解,进而克服薄膜高温失重造成孔洞和致密性差的问题;当H2O2/Zr的摩尔比小于2时,制备的薄膜不致密、不均匀;当H2O2/Zr的摩尔比大于2时,制备的样品有杂质相;最优的H2O2/Zr摩尔比为2,可制得均匀、致密的硅酸锆薄膜;所制备的薄膜具有较好的抗NaOH溶液腐蚀性能,单晶硅基片腐蚀前后质量损失为16.92％,而镀有硅酸锆薄膜的单晶硅基片腐蚀前后质量损失仅为0.56％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘健敏	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	33	114	6.0	8.0
2	江伟辉	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	101	615	14.0	20.0
4	苗立锋	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	35	141	6.0	9.0
5	吴倩	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	9	28	3.0	5.0
8	冯果	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	22	94	6.0	8.0
9	李聪	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	4	12	2.0	3.0