PdCr薄膜电阻应变计研制及其高温应变敏感性能研究

• 作者: 刘豪 张万里 蒋书文 蒋洪川 赵晓辉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: PdCr 薄膜应变计 敏感系数 高温应变测量
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 348-352
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3912字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.03.003

摘要

在航空航天以及核电领域中,准确测量高温部件的应变、疲劳等结构参数十分重要,对满足高温应用环境的高温应变计需求非常迫切.在镍基合金基底上研制了PdCr薄膜电阻应变计,依次在基片上沉积NiCrAlY作为过渡层来增强附着性,沉积YSZ/Al2O3作为复合绝缘层满足绝缘性需求,溅射PdCr合金作为应变敏感层,并采用金属掩模对PdCr敏感层进行图形化,最后沉积Al2O3薄膜层作为高温保护层,并对PdCr薄膜应变计的应变敏感系数(GF)以及高温环境下的表观应变、漂移应变等性能进行了表征.结果表明,不同温度下PdCr薄膜应变计的电阻值随应变呈良好的线性关系;在常温下,其应变敏感系数为1.40;在800 ℃时,应变计的表观应变系数127 με/℃.应变计的电阻值随时间线性减小,导致的漂移应变约为1 800 με/hr,应变敏感系数为1.41.同时,对制备的PdCr薄膜应变计进行了可靠性评估和寿命评估.结果表明,其重复性测量误差约为5.71%,工作寿命超过10 h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
3	蒋书文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	30	197	7.0	12.0
4	赵晓辉	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	12	29	3.0	5.0
5	刘豪	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	5	1.0	1.0