氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计

• 作者: 吕军光 赵俊武 雷强 高杨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微传感器 氮化铝双端固支音叉 灵敏度 信号功率
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 89-93
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201729.170113

摘要

基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点.为了提高灵敏度和分辨率,需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响.在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物理场模型,进行预应力特征频率分析,仿真验证单个振梁结构参数对灵敏度的影响.在振梁厚度保持恒定的情况下,对仿真结果的数据进行后处理,得到信号功率与振梁长度、宽度的关系.结果表明,相对灵敏度、信号功率随振梁长度、宽度的变化趋势相反.因此,需要根据工艺水平和结构强度等因素,综合考虑AlN谐振器的信号功率和相对灵敏度,对两者进行权衡.仿真分析了优化后AlN DETF谐振器的性能,±10 μN范围内的灵敏度为56 Hz/μN,信号功率为6.8×10-4 nW,Q值为958.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	吕军光	中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室	14	61	4.0	7.0
6	赵俊武	西南科技大学信息工程学院	5	23	3.0	4.0
7	雷强	西南科技大学信息工程学院	6	16	2.0	4.0