基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究

• 作者: 刘庆辉 时朝晖 杨洁 郑国恒 郭剑锋
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体微天平 湿度传感器 PSPICE仿真 等效电路模型
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TP274
• 字数: 2481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)08-0029-03

摘要

基于石英晶体微天平(QCM)的湿度传感器是一种以石英晶体为核心元件的新型高灵敏度传感器.根据气相中晶体振荡电路的起振和稳定条件,对晶体表面敏感薄膜吸附水分时等效电路参数的变化进行建模,得到了一种新型的基于QCM的湿度传感器等效电路模型.通过电路仿真软件PSPICE对模型进行仿真,并搭建QCM湿度传感器实验测量平台,结果验证了基于QCM的湿度传感器等效电路模型的有效性和正确性,对QCM湿度传感器的振荡电路的进一步设计和优化具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑国恒	郑州大学物理工程学院	33	156	7.0	9.0
2	杨洁	郑州大学物理工程学院	21	99	6.0	9.0
3	郭剑锋	郑州大学物理工程学院	1	1	1.0	1.0
4	刘庆辉	郑州大学物理工程学院	2	3	1.0	1.0
5	时朝晖	郑州大学物理工程学院	1	1	1.0	1.0