强脉冲离子束辐照金属材料烧蚀产物特性分析

• 作者: 喻晓 崔晓军 张小富 张洁 张高龙 梁国营 沈杰 钟昊玟 颜莎
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 强脉冲离子束 烧蚀 烧蚀产物 相互作用
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 231-237
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.055202

摘要

强脉冲离子束作为一种闪光热源在材料表面改性方面具有广泛的应用.烧蚀效应对于强脉冲离子束与物质相互作用以及强脉冲离子束薄膜沉积过程具有重要的影响.因此,分析强脉冲离子束的烧蚀过程和机理对于优化其应用具有重要意义.为了研究强脉冲离子束的烧蚀产物特性,采用1.2—1.5 J/cm2的强脉冲离子束辐照纯锌靶材,并使用单晶硅片收集辐照过程中产生的烧蚀产物.通过扫描电子显微镜、能谱仪和高精度天平的分析与测量,得到了烧蚀产物的表面形貌和相关特性等实验结果.结合实验和有限元模拟计算得到的材料表面温度场分布演化结果,可以证明在强脉冲离子束辐照锌靶材的烧蚀过程中会有气态、液态和固态三种不同状态的烧蚀产物产生.