基于多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜的制备与性能研究

• 作者: 徐汇音 李卫国 李奇亮 王德山 胡兵兵
• 来源期刊: 装备制造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石碳膜DLC 磁控溅射 多轮廓型腔 工艺性能
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 制造工艺
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 1741字
• 语种: 中文

摘要

类金刚石碳膜是力学综合性能、耐磨损、耐腐蚀和透光性能好的薄膜,在先进制造技术领域得到了越来越多的应用.通过类金刚石(DLC)薄膜制备方法与机械特性的阐述,对不同磁控溅射法对多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜结构性能的干扰制约,以及DLC薄膜工艺技术制定方案的关键问题进行深入探究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德山	苏州大学机电工程学院	23	27	3.0	4.0
2	胡兵兵	苏州大学机电工程学院	4	8	2.0	2.0
3	徐汇音	苏州大学机电工程学院	11	12	2.0	2.0
4	李奇亮	苏州大学机电工程学院	5	3	1.0	1.0
5	李卫国	苏州大学机电工程学院	2	2	1.0	1.0