氧化锌压电薄膜声表面波传感器的特性与应用

• 作者: 邹蕴 高文婷
• 来源期刊: 商情
• 关键词: 氧化锌薄膜 波传感器 表面波
• 年，卷（期）: 2017,（51）
• 所属期刊栏目: 行业动态
• 页码范围: 146
• 页数: 1页
• 字数: 2120字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4041.2017.51.133

摘要

本文介绍ZnO压电薄膜基本特性及其应用、声表面波研究现状以及压电式传感器的基本原理,为氧化锌压电薄膜声表面波传感器的研究提供理论参考与应用指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹蕴	江苏大学食品学院理学院	3	0	0.0	0.0
2	高文婷	江苏大学食品学院理学院	1	0	0.0	0.0