表面等离子体在氧化镓基紫外探测器中的应用

• 作者: 候爽 刘兴钊 刘宏宇 石雄林 钱凌轩
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 局域表面等离子体共振 铝纳米粒子 beta-氧化镓 日盲紫外探测器
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 80-87
• 页数: 8页
• 分类号: TN23
• 字数: 4413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2018.170728

摘要

局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法.本文为了提高beta-氧化镓(β-Ga2O3)薄膜金属-半导体-金属(MSM)日盲紫外探测器的性能,提出了在 beta-氧化镓薄膜表面利用快速热退火的方法形成分散的铝纳米粒子(Al-NPs),增强薄膜对光的吸收.运用此方法制备的Al-NPs/β-Ga2O3探测器不仅降低了暗电流,同时也提升了光响应度和探测率.在波长254 nm紫外光照、10 V偏压下,该器件的光响应度达到了2.7 A/W,探测率达到了1.35×1014 cm.Hz1/2.W-1,与β-Ga2O3探测器相比,分别提升了1.5倍和2倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘兴钊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	56	310	9.0	14.0
2	石雄林	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
3	刘宏宇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
4	候爽	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	钱凌轩	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	1	1.0	1.0