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摘要：

(11(2)0)ZnO film/R-sapphire substrate structure is promising for high frequency acoustic wave devices.The propagation characteristics of SAWs,including the Rayleigh waves along [0001] direction and Love waves along [1(1)00] direction,are investigated by using 3 dimensional finite element method (3D-FEM).The phase velocity (vp),electromechanical coupling coefficient (k2),temperature coefficient of frequency (TCF) and reflection coefficient (r) of Rayleigh wave and Love wave devices are theoretically analyzed.Furthermore,the influences of ZnO films with different crystal orientation on SAW properties are also investigated.The results show that the 1st Rayleigh wave has an exceedingly large k2 of 4.95％ in (90°,90°,0°) (11(2)0)ZnO film/R-sapphire substrate associated with a phase velocity of 5300 m/s;and the 0th Love wave in (0°,90°,0°) (11(2)0)ZnO film/R-sapphire substrate has a maximum k2 of 3.86％ associated with a phase velocity of 3400 m/s.And (11(2)0)ZnO film/R-sapphire substrate structures can be used to design temperature-compensated and wide-band SAW devices.All of the results indicate that the performances of SAW devices can be optimized by suitably selecting ZnO films with different thickness and crystal orientations deposited on R-sapphire substrates.

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篇名
来源期刊	中国科学:物理学力学天文学（英文版）	学科
关键词
年，卷（期）	2018,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	41-48
页数	8页	分类号
字数		语种	英文
DOI	10.1007/s11433-017-9092-0