分子发射光谱法测量微波等离子体气体温度

• 作者: 刘程 张贵新 谢宏 邓磊
• 来源期刊: 光谱学与光谱分析
• 学科: 化学
• 关键词: 分子发射光谱法 微波等离子体 OH自由基 气体温度
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 627-633
• 页数: 7页
• 分类号: O657.3
• 字数: 628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2018)02-0627-07

摘要

通过O H自由基A2Σ+→ X2Πr 电子带系分子发射光谱测温法,实现了对氩气、氮气、空气三种大气压微波等离子体气体温度的测量.探究了不同微波功率、不同气体流量下气体温度的变化规律,测量了氮气、空气微波等离子体羽流的轴向温度分布.实验结果表明,不同工作条件下微波等离子体核心温度普遍超过2000 K,空气微波等离子体可超过6000 K;同样工作条件下三种微波等离子体气体温度满足:TAr< TN2< TAir;气体温度总体上随微波功率增加而小幅增加,随气体流量下降而小幅降低;氮气与空气等离子体羽流温度沿轴向迅速降低.为验证分子发射光谱测温法的准确性,以热电偶测温作为比对,对温度较低的介质阻挡放电氩气等离子体进行了温度测量,实验表明,分子发射光谱法与热电偶所测结果十分接近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张贵新	清华大学电机工程与应用电子技术系	76	1111	16.0	30.0
2	刘程	清华大学电机工程与应用电子技术系	5	26	1.0	5.0
3	邓磊	清华大学电机工程与应用电子技术系	8	15	2.0	3.0
4	谢宏	清华大学电机工程与应用电子技术系	2	1	1.0	1.0