用于能量收集器的不锈钢基PZT厚膜制备研究

• 作者: 崔林 张临松 王士军 陈伟
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸铅(PZT) 厚膜 溶胶-凝胶法 电学性能 振动能量收集器
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 604-607,611
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TM215
• 字数: 2883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.04.029

摘要

采用了溶胶-凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为10μm、结构致密的锆钛酸铅(PZT)厚膜.研究了不同退火条件对厚膜结晶状况的影响,X射线衍射分析表明,采用700℃退火处理20 min后得到了PZT厚膜的纯钙钛矿相结构.厚膜的电学性能测试结果显示,厚膜的剩余极化强度(P r)为7.5μC/cm2,矫顽场强(E c)为7.2 V/μm,压电常数(d 33)为73 pC/N.设计制作了长20 mm、宽4 mm的压电悬臂梁结构振动能量收集器.输出性能测试结果显示,振动频率为95 Hz,采集器输出电压最高,输出电压值为862 mV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王士军	山东理工大学机械工程学院	37	106	6.0	7.0
2	崔林	山东理工大学机械工程学院	4	4	2.0	2.0
3	陈伟	山东理工大学机械工程学院	8	11	2.0	3.0
4	张临松	山东理工大学机械工程学院	5	8	2.0	2.0