基于电容传感器的精密压电微位移系统研究

• 作者: 吕亚宁 唐若祥 孙业飞 李慧鹏
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 电容传感器 PID闭环控制 微位移 AD7745
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 光电系统
• 页码范围: 146-150
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.030

摘要

利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统,极大地矫正了压电陶瓷的非线性.设计了高精度的位移检测电路,实时采集电容传感器的电容量并转换成数字信号反馈给DSP,形成位移信息的闭环.结合带有前馈补偿的PID闭环控制策略,矫正压电陶瓷的非线性特性,进而实现微位移系统精密定位.对设计研制的微位移系统进行试验测试,结果表明:位移检测电路的电容分辨率可达0.000 1 pF,微位移系统定位精度优于5 nm,校正后迟滞误差低于1.0％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕亚宁	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	5	9	2.0	2.0
2	李慧鹏	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	22	64	4.0	7.0
3	孙业飞	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	5	8	2.0	2.0
4	唐若祥	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	5	9	2.0	2.0