新型Ta3N5半导体薄膜电极的制备及其光电转化性能

• 作者: 卢伟伟 崔贝磊 张军
• 来源期刊: 河南科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化 氮化 Ta3N5薄膜 光电转化性能
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 化学化工及其他
• 页码范围: 94-98,104
• 页数: 6页
• 分类号: TQ13
• 字数: 2908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15926/j.cnki.issn1672-6871.2018.04.018

摘要

采用阳极氧化-高温氮化工艺制备了Ta3N5薄膜电极,通过场发射扫描电子显微镜成像、X射线衍射和X射线光电子能谱,分别对电极的断面形貌、晶型结构和表面物质组成进行了分析.通过紫外-可见光谱和电化学阻抗方法对所制备的Ta3N5薄膜电极的能带结构进行了表征.对Ta3N5薄膜的光电转化性能进行了研究.研究结果表明:所制得的Ta3N5薄膜晶型为单斜晶系结构,薄膜平均厚度为10 μm且呈现出多孔层状结构,其禁带宽度为2.08 eV,平带电位相对于可逆氢电极为-0.18 V.施加相对于可逆氢电极1.23 V的电势时,其光电流密度可以达到640 μA/cm2,表现出良好的光电转化性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张军	河南科技大学化工与制药学院	75	283	9.0	13.0
2	卢伟伟	河南科技大学化工与制药学院	18	44	3.0	6.0
3	崔贝磊	河南科技大学化工与制药学院	1	1	1.0	1.0