PcBN刀具TiN涂层制备及性能研究

• 作者: 孔帅斐 栗正新 樊志琴
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: PcBN刀具 磁控溅射 TiN涂层 氮气 氩气
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2018.04.002

摘要

通过JCP-350M2高真空多靶磁控溅射镀膜机,采用直流磁控溅射的方法,在PcBN刀具表面沉积TiN涂层.通过SEM、XRD等方法分析N2流量、Ar流量、温度、电流等参数变化对TiN涂层表面形貌、物相组成、涂层厚度和显微硬度的影响,找出制备TiN涂层的优化参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊志琴	河南工业大学材料科学与工程学院	30	115	6.0	9.0
2	栗正新	河南工业大学材料科学与工程学院	73	239	7.0	10.0
3	孔帅斐	河南工业大学材料科学与工程学院	3	7	2.0	2.0