气体流量与射频功率对电感耦合等离子体温度分布的影响

• 作者: 廖杨凡 张哲 张晶晶 段发鑫 金星
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 关键词: 电感耦合等离子体(ICP) 温度 有限元 磁流体力学 激发光源
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 192-200
• 页数: 9页
• 分类号: O657.63
• 字数: 4807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/zpxb.2017.0069

摘要

针对以电感耦合等离子体(ICP)为激发光源的分析仪器,研究ICP的温度空间分布对样品电离和激发具有重要意义.本研究建立了ICP的二维轴对称模型,利用有限元方法解算磁流体力学方程组,得到ICP的最高温度和温度空间分布,并研究了气体(辅助气 、冷却气)流量和射频功率对ICP的最高温度和温度空间分布的影响.结果表明,辅助气 、冷却气的流量及射频功率几乎不会改变ICP的最高温度(约10000 K),但会改变ICP的温度空间分布;辅助气流量的增大有助于ICP中心通道的形成,样品通过中心通道,有利于样品的原子化和电离;对于矩管直径为20 mm的ICP,未通入样品时,运行时的射频功率在理论上不能超过1600 W,而实际上空载功率可能更低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖杨凡		1	0	0.0	0.0