工作台各速度段激光直写二元图案

• 作者: 吕英俊 张山 王雷
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 二元图案 方形平顶激光束 曝光强度调制 直写效率
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 531-540
• 页数: 10页
• 分类号: TN249
• 字数: 6122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182603.0531

摘要

为了进一步提高直角坐标激光的直写效率,提出了一种扫描工作台各速度段进行激光直写二元图案的方法.该方法用扫描工作台的位置反馈脉冲同步触发激光束曝光光刻胶,实现像素点的理想位置曝光;而且依据扫描工作台的运动特性和匀速直写时各像素点获得的曝光量情况,对处于扫描工作台加、减速度段的像素点的曝光强度进行调制,保证需要曝光的像素点对应的每一个位移分辨力距离上所获的曝光量与扫描工作台匀速运动时相同,从而保证扫描工作台速度连续变化的情况下激光直写能获得预期的曝光效果.仿真实验表明:以5 mm×5 mm曝光图案为例,该方法所需的直写时间是传统只在匀速段直写的77.77％;同时配备的声光调制器由16位降为12位时,扫描工作台整个加速段直写产生的曝光量相对误差由0.4％上升为10％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0
2	吕英俊	山东科技大学电气信息系	39	183	8.0	13.0
3	张山	山东科技大学电气信息系	7	15	2.0	3.0