低Si含量WSiN涂层的结构和摩擦学行为

• 作者: 冯庆 李科 葛芳芳 邵涛 黄峰
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: WSiN涂层 磁控溅射 摩擦学行为
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 108-117
• 页数: 10页
• 分类号: TG174.444|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180503005

摘要

利用反应磁控溅射法制备W2N和WSiN涂层,利用XRD,SEM和AFM研究涂层的显微结构,利用纳米压痕仪测试涂层的力学性能,利用摩擦磨损仪表征涂层的摩擦磨损行为.结果表明,原子数分数2.4％ Si掺杂没有引起W2N涂层相结构和力学性能的明显变化,但降低了涂层的表面粗糙度(从10.56 nm到8.35 nm).不锈钢基底、W2N涂层、WSiN涂层与Al2O3对偶球的摩擦因数分别为0.62、0.42和0.35,对应的磨损率分别为4.2×10-14、3.8×10-16和3× 10-16 m3/N·m.不锈钢基底、W2N涂层、WSiN涂层与GCr15对偶球的摩擦因数分别为0.56、0.47和0.49,对应的磨损率分别为5.9－10-15、2.8×10-16和3.2×10-16 m3/N·m.在上述两种对偶球情况下,W2N涂层、WSiN涂层均能够降低不锈钢的摩擦因数10％～40％和磨损率1～2个量级.W2N涂层和WSiN涂层具有较好的润滑抗磨性,能给不锈钢基底提供防护作用,且WSiN涂层的防护效果更佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李科	重庆师范大学物理与电子工程学院	30	649	7.0	25.0
3	黄峰	中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室	36	194	7.0	12.0
4	邵涛	中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室	68	811	17.0	26.0
5	葛芳芳	中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室	5	5	2.0	2.0