旋转电极电解电火花切割玻璃微结构试验研究

• 作者: 刘勇 李松松 魏志远
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学放电切割加工 石英玻璃 旋转螺旋工具 高深宽比微结构 封闭结构
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1407-1414
• 页数: 8页
• 分类号: TH703
• 字数: 2559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182606.1407

摘要

针对高深宽比非导电硬脆材料(如石英玻璃和陶瓷)微结构的加工需求,对微细电解电火花切割加工方法进行了深入研究.首先,提出了使用旋转螺旋微工具电极的电化学放电切割方法,并对切割缝宽模型进行了讨论;其次,对旋转螺旋电极电解电火花切割加工工艺进行了深入的试验研究,试验研究了加工电压、脉冲频率、占空比和主轴转速这些关键工艺参数对切割加工精度的影响.实验结果表明,缝宽随着施加电压和占空比的增加而增加,随着频率、主轴转速和进给速率的增加而减小.最后,通过优化后的参数成功加工出缝宽为135 μm的微缝阵列、复杂的封闭微结构以及深宽比达6∶1的微图形结构.由此表明该方法是一种可有效加工高深宽比绝缘硬脆材料微结构的新工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘勇	山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心	65	230	8.0	12.0
2	魏志远	山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心	3	5	2.0	2.0
3	李松松	山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心	2	5	2.0	2.0