采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术

• 作者: 刘一鸣 李金鹏 林冬冬 郑锋华 陈磊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 单位激励法 数值计算 瑞奇-康芒法 Zernike拟合
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 771-777
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 字数: 3154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182604.0771

摘要

在影响矩阵法瑞奇-康芒检验中,恢复被测面形的关键在于构建被检平面面形误差与系统波像差之间的Zernike系数影响矩阵.为了提高瑞奇-康芒法的检测精度,研究了采用单位激励法来精确计算影响矩阵的方法.分别重构平面镜仅包含某一种Zernike波像差下的系统波像差分布,经Zernike拟合得到该种Zernike像差的影响系数向量;由各Zernike像差的影响系数向量组成影响矩阵,然后用最小二乘拟合出被检平面面形.对口径为90 mm的平面镜进行实际检验,在瑞奇角为26.5°与40.6°的情况下进行波前恢复,得到被检平面镜PV值为0.1413λ,RM S为0.0194λ.与直接采用平面参考镜检测相比,瑞奇-康芒法检测误差PV值为0.0828λ,RM S为0.0109λ.该方法能够精确生成影响矩阵,抑制了影响矩阵法中对大 F数的依赖,可用于精确恢复平面镜面形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电光学院	133	991	16.0	23.0
2	李金鹏		7	5	2.0	2.0
3	刘一鸣	南京理工大学电光学院	5	27	2.0	5.0
7	林冬冬		1	0	0.0	0.0
8	郑锋华		4	0	0.0	0.0