JSM-6700F冷场发射扫描电子显微镜常见故障分析与排除

• 作者: 李鹏 田弋纬 苗壮
• 来源期刊: 西安文理学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 故障排除 冷却系统 真空系统
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 化学与材料科学研究
• 页码范围: 97-99
• 页数: 3页
• 分类号: TN16
• 字数: 2010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5564.2018.01.021

摘要

以JSM-6700F冷场发射扫描电子显微镜为例,介绍了在实际工作用遇到的几例常见故障现象及原因,详细阐述了样品台控制系统、冷却系统、真空系统等方面故障的处理方法,简要介绍了日常维护的操作事项,强调了细致的日常维护和及时的故障排除是确保电镜处于良好工作状态的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗壮	西北有色金属研究院材料分析中心	20	203	4.0	14.0
2	田弋纬	西北有色金属研究院材料分析中心	12	84	3.0	9.0
3	李鹏	西北有色金属研究院材料分析中心	6	6	1.0	2.0