基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法

• 作者: 张照云 杨荷 熊壮 袁明权
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 化学
• 关键词: 石墨烯 应变计 PET塑料 微纳加工
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: O613.71
• 字数: 1950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.170423

摘要

针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺.通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5mm厚PET基底,并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计.工艺结果表明,本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作.通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率,可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁明权	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	63	4.0	7.0
2	张照云	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	18	2.0	3.0
3	熊壮	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	11	2.0	2.0
4	杨荷	中国工程物理研究院电子工程研究所	7	2	1.0	1.0