飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

• 作者: 刘凯 施克明 王明娣 陈添禹 陈磊
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 优化参数 覆铜板 刻蚀
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 81-88
• 页数: 8页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20183801.081

摘要

为了实现线路板的短流程制作,采用飞秒激光对覆铜板进行刻蚀实验,探索不同飞秒激光工艺参量(平均功率、扫描速度、扫描次数、离焦量)对刻蚀深度和底面粗糙度的影响.应用扫描电子显微镜、三维轮廓仪和能谱仪等检测技术对覆铜板刻蚀质量进行检测.结果表明:由于正离焦的散焦光束和负离焦的聚焦光束的传播特征不同,使得在同样离焦量的情况下,负离焦作用到烧蚀面的激光能量更加集中,加工深度更深.采用优化的激光参数,可以在铜厚规格约为18μm的覆铜板上刻蚀出深度为17.76 μm,粗糙度为0.52 μm的良好窗口,实现表层铜完全刻蚀,并保证环氧树脂基底的完整性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王明娣		75	348	11.0	16.0
2	刘凯		17	63	3.0	7.0
3	陈磊		37	91	5.0	7.0
4	施克明		6	1	1.0	1.0
5	陈添禹		4	2	1.0	1.0