残余应力对涂层材料性能的影响及测量方法

• 作者: 高鹏
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 沉积工艺 涂层材料 残余应力 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 报道与评述
• 页码范围: 199-202
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 3788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16576/j.cnki.1007-4414.2018.06.064

摘要

简述了两种涂层沉积工艺:化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD),并介绍了CVD制备氧化铝涂层的现状;简述了涂层材料存在的力学问题,及残余应力对涂层性能的影响;介绍了常见的残余应力测量方法,展望了拉曼光谱在氧化铝涂层残余应力测量中的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高鹏	天津职业技术师范大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0