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残余应力对涂层材料性能的影响及测量方法
原文服务方：
机械研究与应用
摘要：
简述了两种涂层沉积工艺:化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD),并介绍了CVD制备氧化铝涂层的现状;简述了涂层材料存在的力学问题,及残余应力对涂层性能的影响;介绍了常见的残余应力测量方法,展望了拉曼光谱在氧化铝涂层残余应力测量中的发展前景.
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机械研究与应用
主办单位：
甘肃省机械科学研究院
出版周期：
双月刊
ISSN：
1007-4414
CN：
62-1066/TH
开本：
大16开
出版地：
甘肃省兰州市城关区金昌北路208号
邮发代号：
创刊时间：
1988-01-01
语种：
chi
出版文献量（篇）
7286
总下载数（次）
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总被引数（次）
22351
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