纳米光栅动静态校准工作台

• 作者: 匡也 唐杨超 张海波
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米光栅校准 宏微运动控制 动静态校准 动力学建模
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 465-470
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 3154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.04.04

摘要

为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动.宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成.对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数.设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试.实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海波		63	106	5.0	8.0
2	匡也	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	1	1	1.0	1.0
3	唐杨超	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	3	3	1.0	1.0